中新网福建新闻8月13日电 高纯度气体是高端半导体芯片制造不可或缺的关键材料。在晶圆制造过程中，高纯气体广泛用于刻蚀、沉积、掺杂、清洗等核心环节，微量杂质都可能影响材料沉积质量、线路精度和芯片良率。提升高纯气体分离纯化能力，是保障芯片制造稳定运行、推动关键材料国产化的重要支撑。
围绕高纯气体制备中的分离纯化需求，福建师范大学化学与材料学院高纯智控团队瞄准轻质烯烃高效分离。团队青年博士研究生在指导教师项生昌教授的带领下，成功研发出氢键有机框架材料HOF-FJU-1，为高纯气体精准分离和纯化提供新的材料方案，相关成果发表于国际顶级期刊《Nature Chemistry》。
HOF-FJU-1具有一维贯穿孔道和温度响应门控特性，可在约60摄氏度的工业常用温度下，对乙烯/乙烷、丙烯/丙烷等相近分子进行差异化识别。原创成果的背后，是团队长期积累和青年骨干的持续攻关。据介绍，高纯智控团队已产出相关论文112篇，其中中科院一区TOP论文39篇，总影响因子达1075.49，并布局发明专利7项。(完)